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2013年中国微纳光学制造业分析

字体大小：大中小2013-10-31 中国产业研究报告网 http://www.chinairr.org

中国产业研究报告网讯：

微纳光学是指研究微米乃至纳米尺度下的光学现象的学科，随着光学系统体积的不断缩小，光学特性也会发生改变，当特征尺寸达到微纳米量级，就会出现许多宏观条件下所没有的特性。利用微纳尺寸结构的光学特性，可以设计出新型光学器件、系统和装置。

微纳光学制造业主要利用微纳光学技术生产因微纳结构而产生特殊光学性能或呈现特殊视觉效果的光学膜（器件）。利用微纳结构的色彩控制能力和数字化编码能力，在公共安全防伪、镭射包装材料、新型显示及照明、新能源等行业中发挥着重要作用。

微纳光学制造技术主要包括LIGA技术、电子束离子束加工技术和金刚石微加工技术。LIGA技术是一种基于激光光刻技术的微机电加工技术，主要包括光刻、电铸和复制三个工艺步骤。

与其它微制造方法相比，LIGA技术具有如下特点：①可制造较大高宽比的结构；②取材广泛，可以是金属、陶瓷、聚合物、玻璃等；③可制作任意截面形状图形结构，加工精度高；④可重复复制，符合工业化大批量生产要求，制造成本相对较低等。

LIGA技术在过去20年里取得了突飞猛进的进展，不断突破180nm、60nm、35nm等节点，已经进入纳米尺度，推动了微纳光学技术及相关器件的发展，并且LIGA工艺也在不断改进，生产效率持续提高。如微纳结构产品的复制环节，现在已普遍采用压印工艺取代了原有的注塑工艺，压印工艺能够实现连续生产，极大的提高了生产效率。

2013年中国微纳光学制造业分析

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