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世界TFT-LCD设备大厂发展动向及未来展望分析

字体大小：大中小2008-07-02 中国产业研究报告网 http://www.chinairr.org

一、前言

根据Semiconductor FPD World于2008年六月所公布的数据，2007年全球FPD市场较2006年成长20%以上，达1,020亿美元规模，一举刷新历史纪录。2008年可望继续成长20%以上，市场规模可望达1,200亿美元。

2000年以后，FPD市场每年都有2位数成长的亮丽表现，一再地显示惊人的成长力道。但从应用普及率的观点来看，在2009年以后，将进入成长缓慢的成熟期。分析2007年度应用部门别中的TFT-LCD的渗透率，发现数字相机/数字摄影机为100%，手提电脑为100%，桌上型屏幕为91%，可携式播放装置为91%，游戏机为89%，手机为59%，电视为49%。

根据日本半导体制造设备协会（SEAJ）所公布的调查报告，2007年日本制的FPD制程设备市场规模减少34%，约3,583亿日圆。原因是从2006年后半年起，面板的供需失去平衡，并陷入供过于求极大落差的状态，从2006年后半年起到2007年期间，所有面板厂商都重新检讨投资计划，结果造成市场规模大幅度缩减超过30%。不过，进入2008年后，市场将出现V字型逆向成长，这一波的成长幅度可望达46%。

二、国际大厂动向

1、ULVAC

CF溅镀设备订单增加

2007年度(2007年7月至2008年6月)FPD相关制程设备的营业额约为1,200亿日圆。除重新启动台湾的投资之外，日本、韩国的大型设备投资也十分活跃。不过，受到2006年度未交货数以及2007年度Q1订单减少的影响，营收预测只能维持当初预测水平。

ULVAC的主力产品为八代Array段的溅镀设备，但在彩色滤光片(CF)的溅镀设备因具崭新的概念，已陆续接获订单。该设备的特色为将取放玻璃基板的装置改为单纯的结构，提高信赖度；并在成膜时，可同时进行两片基板的作业，也提高生产效率。除了高精确度外，ULVAC也安装样品机，让客户实际评价机器的性能。

短时间完成大型设备安装

因十代大型设备已开始出货，不论是Array或是CF所使用的溅镀设备，都必须赶紧完工。此外，面临海外八代玻璃基板设备move in陆续增加，ULVAC将继续努力提高产能。今后希望能实现短时间完成安装设立，以帮助客户尽早进入量产阶段。

研发的重点部门与目标

在LCD部门中，在CF制造或是PI配向膜形成上，提出喷墨法的应用，未来将持续专注于此技术的研发。

2、AKT

投入PVD新机种市场

2007年的成果有：(1)导入可有效减少面板制造时产生CoO的新型Array溅镀设备「AKT-PiVot」；(2)在PECVD设备与CF的溅镀设备中，坚持市场领先者的定位，提高EBT检查设备的市场占有率；(3)在客户集中的亚洲地区扩大服务与制造部门等。

2007年10月正式发表并导入市场的「AKT-PiVot 55KV PVD」，系8.5代专用的Array溅镀设备，采用群组概念，是一种可弹性地因应各种生产型态的模块组成设备，采用卷取式阴极管，拥有极佳的使用效率，可大幅度缩减营运成本。该设备目前已出货给面板厂商。2007年度大部分营业额来自PECVD设备的营收。

2008年扩充产品阵容专注G10设备的开发与交货

2008年的目标，包括第10代在内，将在TFT-LCD的制程或是检查等项目，扩大供应的产品种类。并专注十代设备的研发与交货，以及继续推动更省成本的技术研发。

3、Canon

2007年为i线，以KrF为主

受到日本、韩国以及台湾厂商进行次世代建厂投资计划的牵动，2007年12月份曝光设备市场有较高的成长。但因内存价格的滑落，下半年进入成长趋缓的循环，整个市场规模的总台数比前年度略为减少，Canon只有179台的成绩，略低于前年度。

另一方面，Canon也将新开发的「FPA-7000系列」开始投入市场。目前也正在推动浸润式曝光设备「FPA-7000AS」的顾客制程与配合的设备评价。因此，2007年的销售活动主要以i线或是KrF为主。

此外，提升设备的生产速率与缩短安装时程是目前Canon所面对的课题。

4、日立High Technologies

主要部门的营业额稳定成长

该公司的设备事业以测量、检查、分析设备为核心，半导体制造设备相关与LCD制造相关部门的电子装置系统部门的2007年度营业额已超越2006年度，成长1.0%，达到2,648亿日圆。但2008年度的市占率预估会减少11.4%，达到2,345亿日圆。

透过研发，呈现最佳成果

为因应细微化、材料、制程多样化所衍生并日趋重要的制程、检查、分析的需求，该公司将继续推动适合的基础技术与应用技术的研发过程。

5、V-Technology

2007年度负成长

虽然2007年夏季前市场开始恢复活力，设备投资计划也随之复苏，但由于设备交货时间系自2008年初，因此对2007年度的营业额的贡献十分有限，故2007年度营业额比起前年度大幅滑落(营业额约为65亿日圆)。另一方面，新产品的曝光设备评价也告一段落，迈入可采用量产的阶段。

2007年主要营业额来自于检查、测量、修正设备的营收。新制品的非接触三次元表面形状测量设备「Polaris」也有了CF(G8尺寸)的业界实绩。

2008年的重点

(1)针对TFT业界，强化既有产品的检查、测量、修正设备的推广。

(2)强化曝光设备评价机器从交货到生产在线的推广。另外，国内外LCD厂商因为大型LCD-TV的普及，2007年后半年起已经筹划了新设备的建设计划。在此同时，该公司已接获国内外面板以及CF厂商总共65亿日圆的测量、检查等设备的订单，预定于2009年3月以及2010年3月之前交货。

2008年的研发重点将放在提升曝光设备的效率、性能和NEDO项目的研发上。

2008年以后的FPD产业、市场展望

FPD市场自2008年至2009年为止，应会维持横向持平的状态，但是10年以后反而滑落，之后预估应会以稍微减少的趋势持平。

世界TFT-LCD设备大厂发展动向及未来展望分析

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